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选择一个测量传感器

形状/配置文件

当选择用于二维测量的传感器时,第一步是选择生成目标轮廓的方法。这可以通过在表面上扫描1D传感器、使用激光线或从3D图像进行工作来实现。目标材料、形状和大小都将在决定最佳匹配中发挥作用。看看下面的一些典型方法,或者请求免费咨询测量专家。

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测量精细的细节,在触摸面板,无论表面光洁度共聚焦传感器。在3.5μm的光斑下,即使是最小的特征也能被测量出来。

共焦位移传感器

cl - 3000系列

用多个二维激光轮廓仪对轮胎胎面和侧壁进行轮廓。

2 d / 3 d激光分析器

LJ-X8000系列

测量刻蚀后晶圆片上特征的台阶高度。利用三维干涉测量技术,可以准确地测量镜像表面。

三维干涉测量传感器

wi - 5000系列

使用2D推力束传感器,医疗气球可以在高速下进行在线检测。

远心的测量系统

TM-X5000系列

缠绕后检查层压不对中。最小x分辨率为2.5 μm 0.000098", LJ-X8000系列精确测量每个电极的轮廓。

2 d / 3 d激光分析器

LJ-X8000系列

在层压之前提供关于电极断开位置的反馈。准确获取电极端头轮廓,对边缘位置进行高精度检测。

2 d / 3 d激光分析器

LJ-X8000系列

测量晶圆片边缘的轮廓。通过选择一种检测工具,如高度差/宽度或角度,用户可以很容易地开始测量。利用3200个点/剖面的高分辨率图像,实现了传统方法无法实现的高精度剖面测量。

2 d / 3 d激光分析器

LJ-X8000系列

薄膜曲率和起皱测量使用最大宽度为720毫米的蓝色激光器。由于CMOS传感器的广泛动态范围,测量甚至可以用于透明目标。

2 d / 3 d激光分析器

LJ-X8000系列

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