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选择一个测量传感器
当选择用于二维测量的传感器时,第一步是选择生成目标轮廓的方法。这可以通过在表面上扫描1D传感器、使用激光线或从3D图像进行工作来实现。目标材料、形状和大小都将在决定最佳匹配中发挥作用。看看下面的一些典型方法,或者请求免费咨询测量专家。
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反光
触摸屏电极形状测量
二维激光分析器
胎面形状测量
3 d干扰
刻蚀后阶梯测量
Throughbeam
气球形状测量
电极绕组不规则检查
检查断开的电极位置
薄片边缘轮廓测量
薄膜曲率和皱纹检测
测量精细的细节,在触摸面板,无论表面光洁度共聚焦传感器。在3.5μm的光斑下,即使是最小的特征也能被测量出来。
共焦位移传感器
cl - 3000系列
用多个二维激光轮廓仪对轮胎胎面和侧壁进行轮廓。
2 d / 3 d激光分析器
LJ-X8000系列
测量刻蚀后晶圆片上特征的台阶高度。利用三维干涉测量技术,可以准确地测量镜像表面。
三维干涉测量传感器
wi - 5000系列
使用2D推力束传感器,医疗气球可以在高速下进行在线检测。
远心的测量系统
TM-X5000系列
缠绕后检查层压不对中。最小x分辨率为2.5 μm 0.000098", LJ-X8000系列精确测量每个电极的轮廓。
在层压之前提供关于电极断开位置的反馈。准确获取电极端头轮廓,对边缘位置进行高精度检测。
测量晶圆片边缘的轮廓。通过选择一种检测工具,如高度差/宽度或角度,用户可以很容易地开始测量。利用3200个点/剖面的高分辨率图像,实现了传统方法无法实现的高精度剖面测量。
薄膜曲率和起皱测量使用最大宽度为720毫米的蓝色激光器。由于CMOS传感器的广泛动态范围,测量甚至可以用于透明目标。
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