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选择一个测量传感器
实时反馈的位置或行程是重要的过程控制和过程改进。目标的速度、距离和可达性都将影响哪种传感器最适合您的需求。看看下面的位置测量的典型方法,或者请咨询当地的测量专家。
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共焦
摄像模块行程测量
Throughbeam
微调粉碎辊的位置控制
联系
压合故障检测
玻璃表面胶粘剂涂层高度的测量
激光分析器
建材板定位
工具定位
晶圆凹槽定位及尺寸测量
共焦传感器不具有三角测量传感器的死区特性,因此可以更可靠地测量更小、更深的孔。
共焦位移传感器
cl - 3000系列
使用侧推梁传感器,可以在高速下准确测量辊的位置。
高速光学测微计
ls - 9000系列
用接触式位移传感器检查压合故障。
高精度数字接触传感器
GT2系列
当胶水应用于玻璃时,测量设备的高度。利用多色共焦法的测量原理,可以高精度测量玻璃是透明还是不透明。
目标定位是为了保证下一道工序的准确执行。激光轮廓仪提供稳定的位置反馈在测量范围的任何地方,无论目标材料,颜色,或大小。
2 d / 3 d激光分析器
LJ-X8000系列
使用机器人教学,确保工具放置在指定位置。2D远心测量系统能够实现末端工具和其他轴向目标的精确位置反馈。
远心的测量系统
TM-X5000系列
角度反射镜可用于安装空间有限的测量。这种设置能够检测切圆坐标或交点坐标的位置,同时也能够验证晶圆缺口的形状和尺寸。
高精度测量产品目录