原子力显微镜
的原子力显微镜(AFM)是利用尖端和样品之间的原子力来测量样品的粗糙程度。为了进行测量，用户移动悬臂，在它的末端装有一个尖头(探针)，接近样品表面几纳米的距离。为了在尖端和样品之间保持恒定的力(悬臂的恒定挠度)，AFM在扫描时给压电扫描仪反馈。反馈给压电扫描仪的位移被测量，以获得代表表面结构的z轴位移。
测量压电扫描仪位移的一种常用方法是采用光杠杆法，在悬臂的背面发射一束激光，反射光束由两段或四段光电二极管检测。
| 优势 | 缺点 |
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非常小的测量范围
一个原子力显微镜(AFM)是一种能够测量微小区域三维纹理的放大观测工具。与扫描电子显微镜不同的是，它可以以数值形式获取高度数据，使样品定量和数据后处理成为可能。AFM也允许在正常大气条件下进行测量，并且不受样品预处理和电导率等限制。然而，另一方面，由于其高分辨率的功能，它受到窄测量范围(XYZ)的限制。afm也经常不能精确地将其探头定位到测量区域，需要有知识的操作(正确安装悬臂等)。
