白光干涉仪
当光从目标物体表面到某一点的距离有差异时，就会发生光干涉;的白光干涉仪利用这一现象来测量样品的表面粗糙度。右边的图是干涉仪的结构图。从光源发出的光被分成参考光束和测量光束。当参考光束通过分束器通过参考镜时，测量光束被反射并引导到样品表面。通过的光束经参考镜反射到CCD图像传感器，形成干涉图案。另一束从样品表面反射，通过分束器，通过CCD图像传感器形成图像。
设计白光干涉仪，使CCD元件到参考镜的光路长度和CCD元件到样品表面的光路长度一致。样品表面的凹凸不平导致这些路径长度不相等，这导致在CCD元件上形成干涉图案。干涉图中线的数量转化为样品表面的波峰和波谷(高度)。
| 优势 |
缺点 |
- -能够测量广阔的视野。
在亚纳米范围内的测量是可能的。
- -快速测量
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- -无或有限的角特性
- -使用限制在某些物体上
白光干涉仪只能在反射良好的情况下进行测量。在那里，它不支持对各种各样的对象进行测188bet在线量。
当从参考镜反射的光与从测量区域反射的光之间存在显著差异时，测量也可能不可能。(白光干涉仪可以很好地处理镜面表面，但不能测量尖刺或凹凸不平的样品或无反射的部分。
- -需要倾斜校正
在测量之前，样品倾斜校正必须使用测角台进行。倾斜的样品会产生距离很近的干涉图案，影响测量精度。一些白光干涉测量系统装有自动校正样品倾斜的倾斜机构。
- -低分辨率的XY级测量
XY级测量的分辨率较低，因为采样数据集的数量较少(约30万)。一些白光干涉测量系统可以扩展到使用大约98万组数据。
- -对震动敏感
由于设备对振动敏感，安装地点有限。安装减震台是必要的。
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