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粗糙度测量仪器的并排比较

粗糙度测量仪器的并排比较

市场上有各种测量工具,用于分析和评估表面粗糙度和形状。

本节介绍了典型接触式测量仪器的原理和特性,如表面粗糙度测试仪和原子力显微镜,以及非接触式测量仪器,如白光干涉仪和激光扫描显微镜。

方法 接触 非联系人
测量仪器 联系类型
粗糙度测试仪
原子力显微镜
(AFM)
白光
干涉仪
激光
显微镜
测量分辨率 1nm. <0.01 nm. <0.1 nm. 0.1nm.
高度测量范围 高达1毫米
高达0.04“
<10μm
<0.39 mil.
<几毫米
<几分之一英寸
<7毫米
<0.28“
可衡量范围 几毫米
几分之一英寸
1至200μm
0.04至7.87密耳
40微米至15毫米
1.57密耳至0.59“
15μm至2.7 mm
0.59密耳至0.11“
角度特征 - 贫穷的 公平的 好的
数据解析 - VGA. VGA. SXGA.
测量站点定位 - 可选的 内置光学相机 内置光学相机
样本损坏 接触 接触 非联系人 非联系人



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