粗糙度测量仪器的并排比较
市场上有各种测量工具，用于分析和评估表面粗糙度和形状。
本节介绍了典型接触式测量仪器的原理和特性，如表面粗糙度测试仪和原子力显微镜，以及非接触式测量仪器，如白光干涉仪和激光扫描显微镜。
| 方法 | 接触 | 非联系人 | ||
|---|---|---|---|---|
| 测量仪器 | 联系类型 粗糙度测试仪 |
原子力显微镜 （AFM） |
白光 干涉仪 |
激光 显微镜 |
| 测量分辨率 | 1nm. | <0.01 nm. | <0.1 nm. | 0.1nm. |
| 高度测量范围 | 高达1毫米 高达0.04“ |
<10μm <0.39 mil. |
<几毫米 <几分之一英寸 |
<7毫米 <0.28“ |
| 可衡量范围 | 几毫米 几分之一英寸 |
1至200μm 0.04至7.87密耳 |
40微米至15毫米 1.57密耳至0.59“ |
15μm至2.7 mm 0.59密耳至0.11“ |
| 角度特征 | - | 贫穷的 | 公平的 | 好的 |
| 数据解析 | - | VGA. | VGA. | SXGA. |
| 测量站点定位 | - | 可选的 | 内置光学相机 | 内置光学相机 |
| 样本损坏 | 接触 | 接触 | 非联系人 | 非联系人 |
